臭氧處理車間運行與維護的責任最終落在該廠操作人中身上。他們的努力將決定臭氧處理系統是否能可靠地達到要求。運行和維護程序將是該廠不間斷運行壽命的主要因素；雖然大多數總臭氧處理系統是由傳統設備組成的，但對普通的操作人員來說臭氧發生器及其供電設備是生疏的。所以，供應廠方必須為臭氧處理系統運行的頭幾年簽訂一項維護合同。

良好的維護對于臭氧發生系統來說一樣重要。換油、空氣過濾器濾料更換和介電電極清潔是必要的。為了給今后故障判斷提供原始資料，還必須建立記錄保管制度。性能數據，諸如每度電產臭氧公斤數、發生器原料氣露點以及其它資料，在確定維修周期和解決操作問題方面都將是重要的。

空氣制備裝置過濾器濾料更換的頻率由環境空氣質量決定，過濾器濾料清潔或更換一般是規定每年兩次。經驗表明，對于干燥劑干燥器來說，最短的吸收器填料壽命超過10年，影響臭氧發生器運行和維護的兩個因素是空氣制備系統的效率和要求臭氧發生器以最大產量運行的總時間。臭氧發生器的維修一般安排每年一次，不過，多數廠每六個月就進行一次這種維修，在維修過程中因更換失效和損壞的放電管，遵照制造廠家所建議的維修計劃，能被控制在1%~2%。然而，如果最大供氣露點保持在不超過-60℃，如果不要求臭氧發生器以其額定產量超期運行的話，預計放電管平均十年的壽命顯然是合理的。

臭氧發生器正常是以其最大額定產量的50%~75%運行的，這可以更有效地利用電能，同時可以減少介電體損耗和極頻繁的放電管損壞，臭氧發生余量也是必要的，但只對處于臭氧需求量驟增和考慮到計劃維修期間停機的情況下，才可以應用。

臭氧水汽接觸器的運行和維護也必須予以考慮，渦輪擴散器需要電能來開動驅動電機，對比之下多孔擴散器需要少量的或者不需要附加電能，但定期巡視和維修還是必要的，以確保臭氧化氣體在接觸室內的均勻分布。法國塞納河畔莫爾桑格水廠（Morsang-sur-Seine）擴散型接觸池定期維護的經驗表明，即使對接觸池用空氣吹掃之后，維修人員進池仍必須裝備自給呼吸設備，因為臭氧的密度比空氣重而難以靠空氣吹掃完全去除。

總之，臭氧在處理氣體和液體方面的廣泛應用正在為試驗研究所證實本章論述某些設計人又必須予以考慮的細節，以將某種具有不可預見的（和未意識到的）微小的運行及維護問題的實用準則提供給業主。