1980年9月本溪輕化工研究所研制陶瓷介質材料臭氧發生單元。

河北邯鄲718研究所、寧夏大學、清華大學等單位開發了“開式”臭氧發生器產品，應用于蛋果蔬易腐食品防霉保鮮、食品加工殺菌凈化等領域。

1981年，李漢忠教授擔任清華大學通力臭氧研究中心主任，與黃曼青、黃元生等人一起，在原有工頻臭氧發生器技術的基礎上，開發了小型的高頻臭氧發生器，其中空氣源25g/h高頻臭氧發生器獲得了國家科技獎勵。

1981年開始，清華大學設備儀器廠李漢忠、黃曼青、王淑玲等先后與環境系、自動化系合作組成研制小組，開發研制了板式高頻逆變電源臭氧發生器系列產品，彌補了國家的高中頻臭氧技術空白。其中CN87107561X《脈沖型高頻臭氧電源》是我國最早的臭氧技術發明專利，而CN85200020《雙面放電疊層臭氧放電室》則是我國第一個臭氧技術專利。3g/h~200g/h系列板式、管式高中頻臭氧發生器產品分別獲解放軍科技進步二等獎、北京市高新技術產品等獎項，在導彈推進劑污水處理，化學戰劑解毒等項目和食品加工貯藏防霉保鮮等領域應用。此系列產品通過技術轉讓、產品推廣等擴散途徑對臭氧技術行業的進步發展起到了推動作用。

82年、84年，清華大學王占生，沈英鵬、張漢升等研制的1kg/h、2kg/h臭氧發生器進行了部、省級產品鑒定。該系列產品應用于北京東方紅煉油廠廢水處理、北京燕山石化飲用水車間、東北等地多所醫院污水處理等領域。其中80年代中期燕山石化水廠5×1kg/h臭氧設備，利用臭氧——活性炭工藝處理密云水庫源水。至今仍在正常運行。這是當時使用國產臭氧設備發生量最大的臭氧水廠，也是運行時間最長的臭氧水廠。

上海海醫所丁南瑚與上海導航儀器廠合作研制板式臭氧發生器，并應用于海軍艦艇日常用水的消毒處理。

上海香料二廠在市臭氧協作支持下進行雙水內冷中頻臭氧發生單元的研究，中頻電源由上海長江電器廠研制，并應用于香料的生產。

早期的臭氧檢測技術除國外已有的碘量法外，在八十年代，北京勞動環保研究所楊存金高級工程師研制了半定量的靛藍法檢測管，山東濱州商檢局的比色法，中科院環化所的庫侖法，尤其是北京氣體分析儀器廠的紫外吸收法，使我國臭氧檢測達到世界水平，而且得以實現在線檢測。