一種是以單位體積內所含臭氧的質量數表示，常用的單位有mg/L、mg/m³、μg/m³簡稱質量濃度，它們的關系是：1mg/L= 10³mg/m³ = 10⁶μg/m³

我國各種標準均采用質量濃度。

另一種用ppm或ppb作為濃度單位，稱為體積濃度。ppm（parts permillion）單位是指在100萬氣體體積中含有臭氧的體積數，在美國、日本等國家習慣使用體積濃度。1ppm= 10³ppb

但是ppb（parts per million）的含義不明確。在美國和法國，“billion”的意義為十億（10⁹），ppb意味著十億分之一（10^-9）；而在英國和德國，“billion”為萬億（10¹²），ppb意味著萬億分之一（10^-12）。因此，這是一種容易混淆的表達方式。國際純粹化學與應用化學協會與1971年7月作出“不宜采用”的決定。

在我國ppb一般指10^-9。

也有用體積百分比%（vol）和pphm來表示體積濃度的，它們的關系式是

1%（vol）= 10⁴ppm= 10⁶pphm = 10⁷ppb

兩種單位可用下面公式換算：

X（ppm）=   22.4/M   /A（mg/m³）或A= M/22.4    ?X

式中：A——以mg/m³表示的臭氧濃度

      X——以ppm表示的臭氧濃度

      M——氣體的摩爾量（臭氧為48）

    22.4——NPT（標準狀態，273K，101.3kPa，即0℃，760mmHg）的氣體摩爾體積

例如，大氣中的臭氧含量為1ppm，則用mg/m³表示。

1ppm=48/22.4*1  =2.14（mg/m³）。

在美國、日本和國際全球檢測系統內的標準狀態是指298K（25℃）和101.3kPa（760mmHg）這時的氣體體積為24.45L/mol，這樣

1ppm = 1.963mg/m³。

還有一種用重量百分比來表示臭氧的濃度。一般用%（wt）表示，%（wt）的含義是：臭氧的質量/含有臭氧氣體的質量×100%。

這樣，在標準狀態下

1ppm = 2.14mg/m³= 1.66×10^-4%（wt）